Магнітно -левітаційні молекулярні насоси - це насоси, вал яких підтримується завдяки магнітній силі.
Серія магнітно -левітованих молекулярних насосів - це вакуумне генерувальне обладнання, розроблене KYKY для задоволення вимог застосування для галузей сучасного виробництва напівпровідників, виробництва стружки, промислового покриття та наукових приладів.
Технології:
- Технологія управління магнітним підшипником: Прийнятий електромагніт є 5-осьовим магнітно левітаційним. Ця конструкція може мати динамічну реакцію та своєчасне регулювання за допомогою динамічної технології управління магнітною підвіскою з замкненою ланцюгом, що базується на передовій міжнародній теорії управління, щоб гарантувати такі значні переваги високошвидкісного валу, як стабільна левітаційна та надійна робота.
- Технологія управління двигуном: Високоефективний високошвидкісний двигун постійного струму та система управління сервоприводом застосовуються до серійних магнітно-левітаційних насосів, щоб мати максимальну енергію двигуна та автоматично компенсувати швидкість обертання валу, тим самим реалізуючи стабільний запуск, надійну роботу та автоматичне регулювання функція динамічної енергії.
- Технологія композитного ротора з вуглецевого волокна: Турборотори серійних магнітних підвісних молекулярних насосів виготовляються шляхом з'єднання високоміцного алюмінієвого сплаву та легкого вуглецевого волокна. У порівнянні з усіма роторами з алюмінієвого сплаву, турборотори характеризуються значним зменшенням ваги та значним поліпшенням міцності, завдяки чому досягаються цілі з високою швидкістю обертання, високою продуктивністю та високою надійністю.
- Технологія захисту від корозії: Поверхні деталей в камерах серійних магнітних суспензійних молекулярних насосів обробляються спеціальним способом, так що поверхні можуть тривалий час протистояти корозії, спричиненій корозійними газами у процесі виробництва напівпровідників. Крім того, такі інертні гази, як N2, повністю заповнюються валом насосів для захисту деталей з низьким вакуумом у насосах, завдяки чому реалізується функція стабільно вивітрювання корозійних газів протягом тривалого періоду.
- Система контролю температури опалення: Серійні магнітно-левітаційні молекулярні насоси оснащені електричним нагрівачем та регулятором температури, завдяки чому охолоджуючу воду, нагрівання повітря з кістками, електричне опалення та тепло, що передається захисними газами, можна контролювати та контролювати під час роботи, температуру в насосах можна підтримувати на рівні деяке значення в довгостроковому періоді, деякі газоподібні речовини не перетворюються в тверді речовини при нормальній температурі і не осідають у насосах, і вимоги до спеціального процесу такого травлення можуть бути задоволені.
Переваги:
1. нульове тертя під час роботи та низьке споживання електроенергії
2. Легко придбати дійсно чистий високий вакуум і надвисокий вакуум без змащення для насосів
3. Можливість вилучення корозійних газів протягом тривалого часу
4.Висока безпека та тривалий термін служби завдяки захисту підшипників за допомогою точних керамічних кульок
5. функція генерації електроенергії у разі раптового відключення живлення
Технічні характеристики:
Модель |
CXF-200/1401E |
Швидкість насоса (л/с, повітря) |
1400 |
Коефіцієнт стиснення |
> 1 × 107 |
Найвищий вакуум (Па) |
≤2 × 10-6 |
Впускний фланець |
DN200 ISO F |
DN200 ISO CF |
Випускний фланець |
KF 40 |
Швидкість обертання (об / хв) |
33000 |
Час розбігу (хв) |
6 |
VIB (мм) |
<0,05 |
Підпірний насос (л/с) |
15 |
Монтаж або іентація |
Будь -який |
Спосіб охолодження |
Вода |
Вага (кг) (з контролером) |
51 |
Застосування:
Серійні магнітно -левітовані молекулярні насоси в основному застосовуються для галузей виробництва напівпровідників, виробництва кліпс, промислового покриття та наукових приладів, особливо для вилучення корозійних газів, що існують при травленні, CVD, PVD та іонній імплантації, та газів, що легко коагулюються при нормальній температурі.