Магнітно-левітаційний насос, CXF-320/3001E, водяне охолодження, ISO-F, на борту
Магнітно -левітаційні молекулярні насоси - це насоси, вал яких підтримується завдяки магнітній силі.
Серія магнітно -левітованих молекулярних насосів - це вакуумне генерувальне обладнання, розроблене KYKY для задоволення вимог застосування для галузей сучасного виробництва напівпровідників, виробництва стружки, промислового покриття та наукових приладів.
Переваги:
1. Нульове тертя під час роботи та низьке споживання електроенергії
2. Легко придбати дійсно чистий високий вакуум і надвисокий вакуум без змащення для насосів
3. Можливість довгого вилучення корозійних газів
4. Висока безпека та тривалий термін служби завдяки захисту підшипників за допомогою точних керамічних кульок
5. функція генерування електроенергії у разі раптового відключення живлення
6. Без тертя
7. Без забруднень
8. Без обслуговування
9. Низька вібрація
10. встановлені в будь -якій орієнтації.
Застосування:
Серійні магнітно -левітовані молекулярні насоси в основному застосовуються для галузей виробництва напівпровідників, виробництва кліпс, промислового покриття та наукових приладів, особливо для вилучення корозійних газів, що існують при травленні, CVD, PVD та іонній імплантації, та газів, що легко коагулюються при нормальній температурі.
Технічні характеристики:
| Модель | CXF-320/3001E |
| Швидкість насоса (л/с, повітря) | 3200 |
| Коефіцієнт стиснення | > 1 × 108 |
| Найвищий вакуум (Па) | ≤5 × 10-7 |
| Впускний фланець | ISO-F 320 |
| Випускний фланець | KF 40 |
| Швидкість обертання (об / хв) | 24000 |
| Час розбігу (хв) | 12 |
| VIB (мм) | <0,05 |
| Підпірний насос (л/с) | 15 |
| Монтаж або іентація | Будь -який |
| Спосіб охолодження | Вода |
| Вага (кг) (з контролером) | 75 |
Технології:
- Технологія управління магнітним підшипником: 5-осьова магнітно-левітаційна, заснована на передовій міжнародній теорії управління, щоб гарантувати такі значні переваги високошвидкісного валу, як стабільна левітація та надійна робота.
- Технологія управління двигуном: Високоефективний високошвидкісний двигун постійного струму та система управління сервоприводом, що володіють максимальною енергією двигуна та автоматично компенсують швидкість обертання валу, тим самим реалізуючи стабільний запуск, надійну роботу та функцію автоматичного регулювання динамічної енергії.
- Технологія композитного ротора з вуглецевого волокна: Виготовлено шляхом з'єднання високоміцного алюмінієвого сплаву та легкого вуглецевого волокна. характеризується значним зменшенням ваги та значним поліпшенням міцності, завдяки чому досягаються цілі з високою швидкістю обертання, високою продуктивністю та високою надійністю.
- Технологія захисту від корозії: Поверхні деталей в камерах обробляються спеціальним процесом, так що поверхні можуть тривалий час протистояти корозії, викликаній корозійними газами в процесі виробництва напівпровідників. Крім того, інертні гази, такі як N2, повністю заповнюються в валу насосів для захисту деталей з низьким вакуумом у насосах, завдяки чому реалізується функція стабільно вивітрювання корозійних газів протягом тривалого періоду.
- Система контролю температури опалення: обладнані електричним нагрівачем та регулятором температури, охолоджуючу воду, нагрівання повітря-кістка, електричне нагрівання та тепло, що передається захисними газами, можна контролювати та контролювати під час роботи, температуру в насосах можна підтримувати на певному значенні протягом тривалого часу, деяким газоподібним речовини не перетворюються в тверді речовини при нормальній температурі і не осідають у насосах, і вимоги до спеціального процесу такого травлення можуть бути виконані.