Переваги:
Ця серія насосів добре працює за умов жорстких умов навколишнього середовища (висока температура, пил тощо), стабільна в роботі та має тривалий термін служби, а також просте обслуговування та зручну експлуатацію.
Застосування:
Основні сфери застосування-у промисловому виявленні витоків, PVD, CVD, іонній імплантації, виробництві вакуумних електронних компонентів, низькоемісійному склі, склі ITO, оптичному покритті, сонячних батареях, зварюванні електронним променем, вакуумній печі та інших галузях промисловості
Технічні характеристики:
Фланець (В) | DN400 ISO-K | Газ по всьому (sccm) | N2: 5500 |
Фланець (Вихід) KF | DN100 | Він: 4000 | |
Швидкість накачування (л/с) | N2: 3500 | H2: 3200 | |
Він: 2650 | Приблизно 2100 | ||
H2: 1280 | Швидкість обертання (об / хв) | 13500 | |
Ар .: 3200 | Час розбігу (хв) | ≤18 | |
Коефіцієнт стиснення | N2: 108 | Тип охолодження, стандарт | Вода |
Він: 103 | Витрата охолоджуючої води (л/хв) | ≥1 | |
H2: 102 | Температура охолоджуючої води (℃) | ≤25 | |
Ар .: 108 | Підключення до мережі живлення: Напруга (V AC) | DC24/AC220 | |
Максимальний тиск, Па) | 6 × 10-6 | Макс. Споживана потужність, Вт) | ≤1100 |
Макс. Безперервний тиск перед вакуумом (Па) | 100 | Модель контролера | FD-III |
Макс. Перед-вакуумний тиск | N2: 300 | Вага (кг) | 130 |